Suhe vakuumske pumpe primarno imaju sljedeće oblike:
Twin{0}}Lobe Type
Dizajn tipa dvo-loža vrlo je sličan Roots pumpi, koja je trenutno najpopularnija i najčešće korištena vrsta. Zapravo, neki od najranijih koncepata dizajna suhih crpki uključivali su u osnovi slaganje više Roots crpki zajedno. Ova više{3}}stupanjska konstrukcija rezultira prilično složenim putem protoka plina, a svaki stupanj zahtijeva značajan protok plinovitog dušika koji služi i kao razrjeđivač i kao prepreka. Nadalje, da bi se postigao visok stupanj vakuuma, potrebne su izuzetno stroge tolerancije u pogledu razmaka između stupnjeva. Naravno, budući da ovaj dizajn povećava unutarnji omjer kompresije, njegova potrošnja energije je relativno niska.
Vrsta tri-režnjeva
Načelo rada tro-tipa identično je onom dvo-tipa; jedina razlika je u tome što se, tijekom jedne rotacije, plin dijeli u tri diskretna paketa-umjesto u dva, kao što je slučaj s dvo-slojnim dizajnom. Posljedično, ova dva dizajna dijele isti niz prednosti i nedostataka. Kako bi dodatno smanjili potrošnju energije, neki proizvođači odlučuju koristiti dva istosmjerna motora u pogonskom mehanizmu; međutim, ovaj pristup također rezultira smanjenim momentom i smanjenim kapacitetom za ponovno pokretanje crpke. Kao i kod dizajna s dva-režnja, svaka faza dizajna s tri-režnja zahtijeva znatan protok plinovitog dušika za izvođenje funkcija razrjeđivanja i izolacije.
Hibridni tip (korijenje + kandže)
Hibridni (Roots + Claw) dizajn koristi Roots stupanj za poboljšanje učinkovitosti pumpanja pri nižim razinama tlaka, dok koristi Claw stupanj za povećanje učinkovitosti pri višim razinama tlaka. Njegovi temeljni principi rada i putanja protoka plina identični su onima kod prethodno spomenutih konstrukcija tipa lobe-. Neki proizvođači, međutim, odluče zamijeniti završnu fazu dizajnom tipa "-zvjezdica"; ova konfiguracija omogućuje da se plin podijeli u pet diskretnih paketa po rotaciji-prilično na isti način na koji ga tro-dizajn dijeli na tri. Slično tome, u mnogim složenim procesnim primjenama, svaki stupanj hibridnog dizajna zahtijeva značajan protok plinovitog dušika koji služi kao razrjeđivač i barijera.
Tip vanjskog kompresijskog vijka
Dizajn vanjskog steznog vijka-upotrebljava par jednako udaljenih vijaka. Ova konfiguracija smanjuje unutarnju kompresiju dok istovremeno stvara najkraći i najjednostavniji mogući put protoka plina. Posljedično, vrijeme zadržavanja plina unutar komore pumpe održava se na apsolutnom minimumu. Iako ovaj dizajn ima relativno veću potrošnju energije zbog smanjenog omjera unutarnje kompresije, on pokazuje iznimnu stabilnost i pouzdanost u širokom rasponu složenih procesa proizvodnje poluvodiča. Ovaj -jednofazni dizajn nameće minimalne i jednostavne zahtjeve u pogledu potrošnje dušika, čime se osigurava izvrsna zamjenjivost u različitim procesima. U mnogim čistim procesima, upotreba dušika može se čak potpuno izostaviti.
Pumpe s unutarnjim kompresijom
Osim korištenja para ne-izoparametrijskih vijaka, osnovni principi rada dizajna vijčane pumpe s unutarnjim kompresijom vrlo su slični onima dizajna vijčane pumpe s vanjskim kompresijom. Kontinuirano smanjenje volumena između vijaka stvara unutarnju kompresiju. Olakšavajući ovu unutarnju kompresiju, ovaj dizajn smanjuje potrošnju energije na razinu usporedivu s onom kod više-stupanjskih crpki. Međutim, u mnogim procesima-kao i kod više-stupanjskih pumpi-ova unutarnja kompresija vrlo je sklona izazivanju fizikalno-kemijskih promjena u plinu unutar tijela pumpe, što potencijalno dovodi do skrućivanja ili ukapljivanja.
