Suhe mehaničke vakuum pumpe imaju širok raspon primjena, prvenstveno u sljedećim područjima:
U procesu pripreme polisilicija unutar sustava za kemijsko taloženje parama pod niskim-tlakom (LPCVD);
U postupcima jetkanja poluvodiča. Ovi proizvodni procesi često uključuju upotrebu ili stvaranje korozivnih plinova i abrazivnih čestica;
U određenim-procesima stvaranja čestica-izvan industrije poluvodiča-gdje je nepoželjno da se čestice miješaju s uljem pumpe, već je poželjno da budu izbačene iz pumpe; specifični tipovi suhih mehaničkih vakuumskih pumpi mogu se koristiti za ispunjavanje ovih zahtjeva;
U postupcima destilacije, sušenja, otplinjavanja i pakiranja u kemijskoj, farmaceutskoj i prehrambenoj industriji, gdje je potrebno spriječiti kontaminaciju organskim otapalima, pumpe za suhi vakuum su prikladan izbor;
Kao pred-pumpe (pumpe za grubu obradu) u općim-bezuljno čistim vakuumskim sustavima, kako bi se spriječilo onečišćenje uljem.
